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△ [20p-E202-6] イオン液体を用いた高蒸気圧原料の反応性真空蒸着
キーワード:イオン液体、金属有機構造体、真空
金属有機構造体の1つであるZIF-8の薄膜の真空蒸着法による作製を試みた。ZIF-8の原料の1つである2-メチルイミダゾールは蒸気圧が高いため,真空装置に入れることができない。そこで,高融点イオン液体中に2-メチルイミダゾールを封入しておくことで真空中に導入し,加熱赤外レーザのon/offによって適宜放出させる新しい蒸着手法を開発し,2-メチルイミダゾールと塩化亜鉛の同時蒸着を行うことで100℃に加熱したSi(100)基板上にZIF-8薄膜を作製した。