[20p-E204-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[20p-E204-9] Fox-Li法を用いた微小光共振器の軸ずれの影響検討

〇鈴木 雄太¹、北川 雄真¹、手塚 信一郎¹ (1.横河電機)

キーワード：VCSEL、光共振器、レーザー

我々が開発した広帯域波長可変レーザーのMEMS-VCSELはDBRと活性層を備えたhalf-VCSELと凹面鏡を備えたSi-MEMS チップを接合することで光共振器を形成している．接合による鏡の傾きや位置ずれがレーザー特性に大きく影響を与えるため，その効果を見積もることは設計上重要である．これまでにFox-Li法によるFabry-Perot型微小光共振器の数値解析を進めてきた．今回は，従来法に比べて近似のないRayleigh-Sommerfeld回折を用いて，鏡の軸ずれの影響について数値計算を行ったので報告する．