[20p-E205-1~12] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[20p-E205-9] Development of two-color interferometry with optical frequency comb and synthetic wavelength for high-accuracy shape measurement under air turbulence

〇(M2)Yoshihisa Ikisawa^1,2, Yoshiaki Nakajima^1,2, Guanhao Wu³, Kaoru Minoshima^1,2 (1.The Univ. of Electro-Communications, 2.JST, ERATO MINOSHIMA Intelligent Optical Synthesizer, 3.Tsinghua Univ.)

Keywords:optical frequency comb, measurement, interferometer

我々は光コム２色干渉計による高精度な空気屈折率補正法を用いて、形状計測への展開を行ってきた。本手法の特徴は、リアルタイムに空気ゆらぎを補正しながら遠隔物体の構造を高精度に計測できる点である。これまでに測定範囲拡大のため、光コムを用いた合成波長干渉法の開発を行ってきた。本研究では、空気ゆらぎ存在下での広範囲な形状計測に適用する手法を開発するため、合成波長干渉法による測定結果を用いて２色法に適用した。