[20p-E205-1~12] 3.8 光計測技術・機器

[20p-E205-9] ゆらぎの下での高精度な絶対形状計測に向けた合成波長光コム２色干渉計の開発

〇(M2)生澤 佳久^1,2、中嶋 善晶^1,2、吴 冠豪³、美濃島 薫^1,2 (1.電通大、2.JST,ERATO美濃島知的光シンセサイザ、3.清華大)

キーワード：光コム、計測、測定、干渉

我々は光コム２色干渉計による高精度な空気屈折率補正法を用いて、形状計測への展開を行ってきた。本手法の特徴は、リアルタイムに空気ゆらぎを補正しながら遠隔物体の構造を高精度に計測できる点である。これまでに測定範囲拡大のため、光コムを用いた合成波長干渉法の開発を行ってきた。本研究では、空気ゆらぎ存在下での広範囲な形状計測に適用する手法を開発するため、合成波長干渉法による測定結果を用いて２色法に適用した。