[20p-E208-1~21] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[20p-E208-14] 動的斜め蒸着法を用いて作製したTiNナノワイヤからなるハイパボリックメタマテリアル

〇矢次 健一¹、西川 和孝¹ (1.豊田中研)

キーワード：窒化チタン、ハイパボリックメタマテリアル、ナノワイヤ

ハイパボリックメタマテリアル(HMM)は大きな光学異方性に起因するユニークな光学特性を持つことから注目を集めている．本研究では，動的斜め蒸着法を用いて作製したTi ナノワイヤアレイ(NWA)をアンモニア中で熱処理することで，TiN NWAからなるHMMを作製した．850 nm以上の波長範囲でε_⊥およびε_∥の符号はそれぞれ負および正であったことから，この波長範囲においてHMMであることが確認された．