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[20p-E305-1] 宇宙X線観測に向けた裏面照射型CMOSセンサの撮像分光性能評価
キーワード:X線、CMOS
可視光用に開発されたCMOSセンサについて、宇宙X線観測に用いることを念頭に撮像分光性能を評価した。-30℃に冷却した裏面照射型CMOSセンサに単色X線を照射しスペクトルを得た結果、エネルギー分解能はΔE/E=4.3%@22.1keV であった。これは著者らが開発した CCD+CsIの広帯域センサ(同4.6%@-70℃)に比べても優れた分光性能である。その他暗電流などの各種性能についても報告する。