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△ [20p-E305-3] プラズマ原子層堆積法を用いたX線光学系の Pt 膜付け加工
キーワード:原子層堆積法、X線光学系、ドライエッチング
我々は将来衛星に向けてMEMS技術を用いた独自の超軽量X線望遠鏡を開発している。薄いSi基板にドライエッチングで穴幅20 µmの局面穴を形成し、その側壁をX線反射鏡として用いる。Siは加工が比較的容易にできる一方で、重金属と比べると反射率は低いため、我々はO2プラズマを用いた原子層体積法に着目し、平滑かつ被覆性の良い側壁へのPt膜付けに世界で初めて成功した。本講演では、X線光学系の膜付けプロセスに関わる製作・評価方法について紹介する。