2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

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[20p-E305-1~7] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

2019年9月20日(金) 13:45 〜 15:30 E305 (E305)

渡辺 賢一(名大)

14:15 〜 14:30

[20p-E305-3] プラズマ原子層堆積法を用いたX線光学系の Pt 膜付け加工

〇(M2)福島 碧都1、伊師 大貴1、江副 祐一郎1、石川 久美2、沼澤 正樹1、大坪 亮太1、鈴木 光1、湯浅 辰哉1、内野 友樹1、作田 紗恵1、満田 和久2、Sowa Mark J.3 (1.首都大、2.宇宙研、3.Ultratech)

キーワード:原子層堆積法、X線光学系、ドライエッチング

我々は将来衛星に向けてMEMS技術を用いた独自の超軽量X線望遠鏡を開発している。薄いSi基板にドライエッチングで穴幅20 µmの局面穴を形成し、その側壁をX線反射鏡として用いる。Siは加工が比較的容易にできる一方で、重金属と比べると反射率は低いため、我々はO2プラズマを用いた原子層体積法に着目し、平滑かつ被覆性の良い側壁へのPt膜付けに世界で初めて成功した。本講演では、X線光学系の膜付けプロセスに関わる製作・評価方法について紹介する。