[20p-E305-1~7] 2.3 放射線応用・発生装置・新技術

△ [20p-E305-3] プラズマ原子層堆積法を用いたX線光学系の Pt 膜付け加工

〇(M2)福島 碧都¹、伊師 大貴¹、江副 祐一郎¹、石川 久美²、沼澤 正樹¹、大坪 亮太¹、鈴木 光¹、湯浅 辰哉¹、内野 友樹¹、作田 紗恵¹、満田 和久²、Sowa Mark J.³ (1.首都大、2.宇宙研、3.Ultratech)

キーワード：原子層堆積法、X線光学系、ドライエッチング

我々は将来衛星に向けてMEMS技術を用いた独自の超軽量X線望遠鏡を開発している。薄いSi基板にドライエッチングで穴幅20 µmの局面穴を形成し、その側壁をX線反射鏡として用いる。Siは加工が比較的容易にできる一方で、重金属と比べると反射率は低いため、我々はO₂プラズマを用いた原子層体積法に着目し、平滑かつ被覆性の良い側壁へのPt膜付けに世界で初めて成功した。本講演では、X線光学系の膜付けプロセスに関わる製作・評価方法について紹介する。