2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-E310-1~21] 15.4 III-V族窒化物結晶

2019年9月20日(金) 13:15 〜 19:00 E310 (E310)

岡田 成仁(山口大)、本田 善央(名大)、谷川 智之(阪大)

13:15 〜 13:30

[20p-E310-1] HVPE法によるAlN高速ホモエピタキシャル成長とその影響

齋藤 大地1、清水 裕大1、竹川 直1、後藤 健1、永島 徹2、山本 玲緒2、Bo Monemar3、熊谷 義直1,4 (1.東京農工大院、2.株式会社トクヤマ、3.リンチョーピン大、4.東京農工大IGIR)

キーワード:AlN、HVPE法、高速ホモエピタキシャル成長