[20p-E310-1~21] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-E310-2] HVPE 法による AlN ホモエピタキシャル成長における NH₃ 供給分圧の影響

〇竹川 直¹、齋藤 大地¹、清水 裕大¹、後藤 健¹、永島 徹²、山本 玲緒²、熊谷 義直^1,3 (1.東京農工大院、2.株式会社トクヤマ、3.東京農工大 IGIR)

キーワード：窒化アルミニウム、HVPE法