[20p-E310-1~21] 15.4 III-V族窒化物結晶

[20p-E310-1] HVPE法によるAlN高速ホモエピタキシャル成長とその影響

〇齋藤 大地¹、清水 裕大¹、竹川 直¹、後藤 健¹、永島 徹²、山本 玲緒²、Bo Monemar³、熊谷 義直^1,4 (1.東京農工大院、2.株式会社トクヤマ、3.リンチョーピン大、4.東京農工大IGIR)

キーワード：AlN、HVPE法、高速ホモエピタキシャル成長