1:45 PM - 2:00 PM
[20p-E311-2] Electrically-Detected-Magnetic-Resonance (EDMR) Spectroscopy on Nitrided
4H-SiC(000)/SiO2 Interfaces
Keywords:SiC, MOS interface defect, ESR
電流検出電子共鳴分光の結果から、C面窒化4H-SiC/SiO2界面欠陥について議論する。