[20p-E312-1~14] 6.2 Carbon-based thin films

△ [20p-E312-10] Growth of phosphorus-doped n-type diamond films on (111) facets by hot-filament CVD

〇Yuki Katamune¹, Daichi Mori¹, Daisuke Arikawa¹, Akira Izumi¹, Takehiro Shimaoka², Kimiyoshi Ichikawa², Satoshi Koizumi² (1.Kyutech, 2.NIMS)

Keywords:n-type diamond, phosphorus doping, hot-filament CVD

熱フィラメントCVD法によりダイヤモンド(111)面上へのリンドープダイヤモンド膜の結晶成長を行い，Hall効果測定によりn型半導体特性を評価したので報告する．