[20p-E312-1~14] 6.2 カーボン系薄膜

[20p-E312-7] 同軸型アークプラズマ堆積法により超硬基板上に堆積される超ナノ微結晶ダイヤモンド膜へのボロンドープの効果

〇吉武 剛¹、エギザ モハメド²、村澤 功基³、モハメド アリ アリ⁴、福井 康雄³、権田 英修³、櫻井 正俊³ (1.九大総理工、2.カフルアッシャイフ大、3.オーエスジー（株）、4.アル アズハル大)

キーワード：ナノダイヤモンド、硬質被膜、同軸型アークプラズマ堆積法

10 nm以下のナノダイヤモンド結晶とアモルファスカーボンからなる超ナノ微結晶ダイヤモンド膜は，超硬への新しい硬質被膜材料である．以前の研究で，超鋼上への室温膜堆積により，3ミクロン以上の膜厚で50 GPaの硬度を実現した．今回，さらなる硬度化を目指して，ボロンドープの効果を調査した．