[20p-E313-1~17] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[20p-E313-4] Development of a small-size CRDS-based trace-moisture analyzer

〇Hisashi Abe¹, Koji Hashiguchi¹, Shinichi Honda², Hiroyuki Shimizu², Tomoki Miyake² (1.AIST, 2.Shinyei Technology)

Keywords:semiconductor, lunar exploration

微量水分の計測は、科学・産業分野の様々な場面で必要とされている。しかし、現状利用可能な高性能ガス中微量水分計は全てサイズ・質量が大きく、いくつかの用途ではサイズ的な問題から使用できない課題があった。この課題に対応するため、本研究では、キャビティリングダウン分光法(CRDS)を用いた小型微量水分計の開発を行っている。今回、センサー部分のサイズを9 cm×15cm×20 cm、質量を3 kg程度とした小型CRDS微量水分計の開発に成功した。