[20p-E313-1~17] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[20p-E313-5] Improvement of stability of gas flow-rate in Multi-gas trace-moisture generator

〇MINAMI AMANO¹, HISASHI ABE¹ (1.AIST)

Keywords:semiconductor, trace moisture, humidity

半導体材料ガス中に不純物として残留する微量水分の測定の信頼性向上を目的とし、窒素・酸素・アルゴン・ヘリウムを対象としたガス中微量水分の一次標準の開発をおこなっている。標準ガス発生のために開発した「多種ガス用微量水分発生装置」では、安定性の高いガス流量制御が必要である。本発表では、ガス流量の室温依存性と温調装置導入の効果について述べる。