[20p-E313-1~17] 1.5 計測技術・計測標準

[20p-E313-5] 多種ガス用微量水分発生装置における希釈用ガス流量の安定性向上に関する研究

〇天野 みなみ¹、阿部 恒¹ (1.産総研)

キーワード：半導体、微量水分、湿度

半導体材料ガス中に不純物として残留する微量水分の測定の信頼性向上を目的とし、窒素・酸素・アルゴン・ヘリウムを対象としたガス中微量水分の一次標準の開発をおこなっている。標準ガス発生のために開発した「多種ガス用微量水分発生装置」では、安定性の高いガス流量制御が必要である。本発表では、ガス流量の室温依存性と温調装置導入の効果について述べる。