16:45 〜 17:00
[20p-E314-13] プロトンによる三中心結合と光劣化現象
キーワード:アモルファスシリコン、光劣化、プロトン
成長表面に飛来するプロトン(H+)がSi-Si結合に挿入されることで生成する正電荷を有する三中心結合が膜中に取り込まれ、光劣化現象を引き起こす伝導電子トラップとなることによって生じる三中心結合の解離とそれに伴うSi-H結合の増加などについて検討を行った。
一般セッション(口頭講演)
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16:45 〜 17:00
キーワード:アモルファスシリコン、光劣化、プロトン