2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

16 非晶質・微結晶 » 16.3 シリコン系太陽電池

[20p-E314-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

2019年9月20日(金) 13:30 〜 17:15 E314 (E314)

松本 光弘(パナソニック)、石川 亮佑(東京都市大)

14:30 〜 14:45

[20p-E314-5] 透明導電膜のスパッタリング堆積によるプロセスダメージの評価

金井 皓輝1、西原 達平1、神岡 武文1、松崎 淳介2、高橋 明久2、清田 淳也2、安野 聡3、廣沢 一郎3、小椋 厚志1 (1.明治大学、2.ULVAC、3.高輝度光科学研究センター)

キーワード:シリコンヘテロ接合太陽電池、スパッタ、プロセスダメージ

透明導電膜のスパッタ成膜によるプロセスダメージの評価を行った。