[20p-E314-1~14] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [20p-E314-5] 透明導電膜のスパッタリング堆積によるプロセスダメージの評価

〇金井 皓輝¹、西原 達平¹、神岡 武文¹、松崎 淳介²、高橋 明久²、清田 淳也²、安野 聡³、廣沢 一郎³、小椋 厚志¹ (1.明治大学、2.ULVAC、3.高輝度光科学研究センター)

キーワード：シリコンヘテロ接合太陽電池、スパッタ、プロセスダメージ

透明導電膜のスパッタ成膜によるプロセスダメージの評価を行った。