[20p-E317-1~9] 9.3 Nanoelectronics

[20p-E317-2] Electroless Gold Plating over Palladium Thin Films

〇Meietu You¹, Ryo Toyama¹, Phan Trong Tue¹, Yutaka Majima¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:Palladium, Electroless gold plating, Thin film

本研究では、パラジウム薄膜上に我々のELGP法により金めっきを行う手法を開発したとので報告する。