[20p-E317-1~9] 9.3 ナノエレクトロニクス

[20p-E317-2] パラジウム薄膜上への無電解金めっき

〇楊 銘悦¹、遠山 諒¹、Tue Trong Phan¹、真島 豊¹ (1.東工大)

キーワード：パラジウム、無電解金めっき、薄膜

本研究では、パラジウム薄膜上に我々のELGP法により金めっきを行う手法を開発したとので報告する。