[20p-E318-1~13] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

△ [20p-E318-10] 120 kVフォトカソード電子銃を用いた高輝度パルス透過電子顕微鏡の開発

〇横井 里奈¹、永田 渉¹、石田 高史²、長沖 功³、揚村 寿英³、桑原 真人²、齋藤 晃² (1.名大院工、2.名大未来研、3.日立ハイテク)

キーワード：フォトカソード、透過電子顕微鏡、パルス電子線

高電圧DCフォトカソード電子銃を搭載した電子顕微鏡の開発を進めている。この装置は連続動作からサブピコ秒パルスの電子線生成が可能であり、高速な局所構造変化等の観察が期待される。今回、電子線のビームシミュレーションより、パルス幅1.1 psにおいて電荷密度300 aC/pulseが実現可能であると見出した。さらに、レーザーに同期した電子線発生および電顕中で輝度測定が可能な状態にすることに成功した。