[20p-E318-1~13] 【CS.7】 7.2 電子ビーム応用、7.4 量子ビーム界面構造計測、9.5 新機能材料・新物性のコードシェアセッション

△ [20p-E318-11] 大電流電子源に向けたニッケル合金フィールドエミッタアレイの試作

〇(M2)名渕 雄太^1,2、長尾 昌善¹、三村 秀典²、根尾 陽一郎² (1.産総研、2.静大院工)

キーワード：フィールドエミッタアレイ、大電流電子源