[20p-E319-1~10] 【CS.6】 Code-sharing Session of 6.5 & 7.6

[20p-E319-2] In situ observation of Ga₂O₃ sintering using Bi₂O₃

〇Yuri Ishizaki¹, Shingo Maruyama¹, Yuji Matsumoto¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:In situ observation

本講演では, Bi₂O₃を添加したGa₂O₃粉末の焼結過程を, 共焦点レーザー顕微鏡を用いてその場観察したことについて報告する. β-Ga₂O₃は高融点であるため, 今回は添加剤としてBi₂O₃を用いて, その焼結を行った. その結果, 20 µm以上の大きさの結晶生成が観察された. またSEM-EDX測定より, 結晶はBiをほとんど含まず, GaとOを主成分とすることが確かめられた.