[20p-E319-1~10] 【CS.6】 6.5 表面物理・真空と7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[20p-E319-2] Bi₂O₃を用いたGa₂O₃焼結のその場観察

〇石崎 ゆり¹、丸山 伸伍¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：その場観察

本講演では, Bi₂O₃を添加したGa₂O₃粉末の焼結過程を, 共焦点レーザー顕微鏡を用いてその場観察したことについて報告する. β-Ga₂O₃は高融点であるため, 今回は添加剤としてBi₂O₃を用いて, その焼結を行った. その結果, 20 µm以上の大きさの結晶生成が観察された. またSEM-EDX測定より, 結晶はBiをほとんど含まず, GaとOを主成分とすることが確かめられた.