[20p-N304-1~10] アトミックレイヤープロセスの最新動向

[20p-N304-2] マテリアルズインフォマティクスの視点からみたALDとALE

〇知京 豊裕¹、木野 日織¹ (1.物材研)

キーワード：インフォマティクス、原子層堆積、原子層エッチング

マテリアルズインフォマティクスで使われているデータ科学の手法をALDやALEに適用できるかを検討する。ALDのPrecursorであるが、第一原理計算を使った自動計算でかなりの候補を集めることができる。また、表面での分解と製膜プロセスはSiO₂/Si(00)表面など極性がなく非晶質構造の表面を仮定してある温度でのPrecursorの分解過程を計算することは可能である。この中で分解や製膜を規定する記述子を見つけることでALDプロセスの現実と仮想の比較が可能である。当日の講演では、マテリアルズインフォマティクスでの現状を概観し、その中でALE,ALDへの適用の可能性に言及する。