[20p-PA4-1~17] 3.8 光計測技術・機器

[20p-PA4-4] 低コヒーレンス干渉計を用いたトモグラフィック位相屈折率スペクトル計測

〇唐澤 悠太朗¹、郡司 翔平¹、塩田 達俊¹ (1.埼大理工)

キーワード：低コヒーレンス干渉、トモグラフィック分光法、位相屈折率

低コヒーレンス干渉計による形状計測において、取得した多層試料の断層像から界面毎にフーリエ変換を行うことで試料の吸光度スペクトルを算出できることをすでに示している。本講演では、試料を光ガラス、空気、鏡として、光ガラスの郡屈折率を計測せず、位相屈折率スペクトルを直接算出することを目的として、位相情報抽出の解析アルゴリズムを改良した。