[20p-PA4-1~17] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[20p-PA4-9] Spectral Analysis for High-sensitivity Measurement of Trace Moisture

〇Koji Hashiguchi¹, Agata Cygan², Daniel Lisak², Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST, 2.UMK)

Keywords:CRDS, trace moisture, spectral analysis

半導体やバリアフィルムなどのハイテク産業において、ガス中微量水分を精確に測定、管理する需要が高まっている。本発表では、これまでに開発した波長計制御型キャビティリングダウン分光法（CRDS）微量水分計を用いて高精度なスペクトル測定を行い、得られたスペクトルを解析した結果について報告する。解析の手法が最終的に求める微量水分の値に与える影響について、今後取り組むべき検証についても報告する。