[20p-PA4-1~17] 3.8 光計測技術・機器

[20p-PA4-9] 高感度微量水分測定に向けたスペクトル解析手法の検証

〇橋口 幸治¹、Cygan Agata²、Lisak Daniel²、阿部 恒¹ (1.産総研、2.ニコラス・コペルニクス大学)

キーワード：キャビティリングダウン分光法、微量水分、スペクトル解析

半導体やバリアフィルムなどのハイテク産業において、ガス中微量水分を精確に測定、管理する需要が高まっている。本発表では、これまでに開発した波長計制御型キャビティリングダウン分光法（CRDS）微量水分計を用いて高精度なスペクトル測定を行い、得られたスペクトルを解析した結果について報告する。解析の手法が最終的に求める微量水分の値に与える影響について、今後取り組むべき検証についても報告する。