[20p-PA6-1~15] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[20p-PA6-6] レーザマーカ向け光ファイバ型ビームスキャナの提案

〇若山 雄貴¹、松田 孝弘¹、尾上 愼介¹、三上 浩幸² (1.日立研開、2.日立産機)

キーワード：ビームスキャナ、レーザマーカ、微細加工

微細マーキング向け産業用レーザマーカに適した光ファイバ型ビームスキャナを提案する。本ビームスキャナは、光ファイバの端部近くに取り付けられた電気アクチュエータにより光ファイバを共振させる構成である。本講演ではビームスキャナの製造誤差を補償するために開発した駆動技術についても紹介する。