[20p-PA7-1~8] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[20p-PA7-1] Miniature Fuel Cell with Monolithically Fabricated Si Electrode
–Formation of Porous Si for Au-Pd-Pt Multilayer Catalyst–

〇Soshiro Kobune¹, Keita Takahashi¹, Tomohiro Kurose¹, Masaru Irita¹, Masanori Hayase¹ (1.Tokyo University of Science)

Keywords:MEMS, Fuel Cell, Porous Si

燃料電池への応用に向け，Si基板の抵抗率および多孔質Si形成時に印加電流密度を変化させることにより，多孔質Siの細孔直径および細孔間隔を大きくしAu-Pd-Pt多層触媒形成に最適な多孔質Si形成を行った．作製した多孔質Siと多孔質Auについて，の構造比較のため走査電子顕微法（SEM）およびエネルギー分散型X線分析装置（EDS）により多孔質構造評価と元素分析を行った結果について