2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[20p-PA7-1~8] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2019年9月20日(金) 16:00 〜 18:00 PA7 (第一体育館)

16:00 〜 18:00

[20p-PA7-7] グラフェン共振器への気体分子の吸着:第一原理計算と実験的研究

〇(M2)宮下 寛也1、ムルガナタン マノハラン1、水田 博1,2 (1.北陸先端大、2.日立ケンブリッジ研)

キーワード:グラフェン、共振器、第一原理計算

本研究では,グラフェン共振器の質量検出の可能性を探求するため,ファンデルワールス相互作用を考慮した第一原理計算を用いて,グラフェンと水素分子およびアルゴン分子間の結合エネルギーがそれぞれ141 meV および287 meVであることを導いた.さらに同様のシミュレーションでそれぞれの電荷密度分布を解析したところ,グラフェンに対する水素およびアルゴン分子の結合がファンデルワールス力による物理吸着であることを明らかにした.