[20p-PA7-1~8] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[20p-PA7-8] Installation Angle Dependence of 3-dimensional Acceleration Sensor

〇Fuminobu Imaizumi¹, Sumihisa Kumada, Takehiko Kato¹ (1.NIT, Oyama College)

Keywords:acceleration sensor

現在、自動車やスマートフォン等で多く種類のセンサが使われている。そのためセンサの高精度・高機能化が求められているが、センサの測定値は環境によってばらつきが発生してしまう。本研究では、最も多く使われているセンサの一つである3軸加速度センサについて着目し、X、Y、Z軸の値のばらつきを評価した。特にセンサの構造の違いにより発生した測定値のばらつきについて発表を行う。