[20p-PB1-1~13] 6.5 表面物理・真空

[20p-PB1-1] 炭素系超薄膜を使用した環境セルにおける固液界面のXPS

〇(M2)渡邊 大輔¹、遠藤 頼夢²、増田 卓也²、中村 篤志¹、下村 勝¹ (1.静岡大工、2.NIMS)

キーワード：X線光電子分光法、グラフェン、環境セル

固液界面をX線光電子分光法（XPS）で観察するための「環境セル」という技術が注目されている。環境セルでは、半導体超薄膜によって微小体積の液体を基板内側に封じることできる。したがって、液体を含んだ試料を真空中に導入でき、真空側からプローブとなるX線を照射することで、液体と薄膜との界面の分析が可能となる。本研究では、硬X線の代わりに、実験室環境で一般的に使用される軟X線光源を利用して、環境セルのXPSによる分析を行い、薄膜との界面付近に存在する水分子由来のXPSピークが観察できるか検討した。