[20p-PB1-1~13] 6.5 Surface Physics, Vacuum

[20p-PB1-6] Molecular Dyanmics Study on Shear Characteristics of Nano-Scale Thin-Film

〇Kazuhiro Tada¹, Keita Mukougawa¹, Hikaru Kanahara¹, Yuya Miyashita², Masaaki Yasuda², Yoshihiko Hirai² (1.NIT, Toyama Coll., 2.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:nanotribology, molecular dynamics

近年，ナノスケールの半導体デバイスの需要が高まっている．対応するナノ加工プロセスとして，ナノインプリント等が注目されている．機械部品についても同様にマイクロ・ナノスケール化が進み、MEMS/NEMS等の研究・開発が行われている．ナノインプリントにおいては，アライメントや有機材料の充填，離型時のモールド-有機材料界面の摩擦特性[1]，MEMS/NEMSにおいては部材界面での潤滑特性についての課題が残されており，ナノトライボロジー現象に関しては未解決な課題も多い．
本研究では，ナノトライボロジー現象の基礎的知見を得ることを目的とし，分子動力学法を用いて，ナノスケールの隙間を有する基板に挟まれた有機材料のせん断特性を解析した．