[20p-PB2-1~18] 7 ビーム応用（ポスター）

[20p-PB2-1] LACBEDとNBDを用いた歪の可視化技術

〇上杉 文彦¹、古川 晃士¹、谷井 千晶²、杉山 直之^1,2、竹口 雅樹¹ (1.国立研究開発法人 物質・材料研究機構、2.株式会社東レリサーチセンター)

キーワード：歪、LACBED、NBD

半導体デバイスの分野では，歪が「どこ」に「どのくらいの大きさ」で存在するかを知ることは，デバイスを作製するうえで非常に重要な情報である．
電子回折図形の一種であるLACBED（Large Angle Convergent Beam Electron Diffraction）を用いて大域的な歪を，NBD（Nano Beam electron Diffraction）を用いて局所的な歪を精度よく測定する手法を提案した．今回は市販の45nmノードのデバイスに本手法を適用したのでその効果について報告する．