[20p-PB2-1~18] 7 Beam Technology and Nanofabrication (Poster)

[20p-PB2-12] Investigation of Space Potential Shift by a Plasma Flood Gun

〇(M2)Takahito Arai¹, Yusuke Kuwata¹, Motoi Wada¹ (1.Doshisha univ.)

Keywords:ion implantation, neutralizer, plasma flood gun

イオン注入プロセスで生じるウェハのチャージアップ抑制手段として，プラズマフラッドガン (PFG)より領域に電荷を導入させる手法がある．しかしながら現状，PFGにより生じる空間電荷の緩和は実験的に明確化されていない．本研究では，PFGが空間中の電荷分布に与える影響を調査する為にイオンビーム生成装置としてホールスラスタ，PFGとして長尺マイクロ波源を用いて，PFGに加えるバイアス電圧を変化させた時のプラズマ電位を測定した．