2019年第80回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

7 ビーム応用 » 7 ビーム応用(ポスター)

[20p-PB2-1~18] 7 ビーム応用(ポスター)

2019年9月20日(金) 13:30 〜 15:30 PB2 (第二体育館)

13:30 〜 15:30

[20p-PB2-8] 熱電界処理による貴金属被覆ナノ電子源の歩留まり向上と長寿命化の検討

浅井 泰尊1、村田 英一1、六田 英治1 (1.名城大理工)

キーワード:微小電子源、電界イオン顕微鏡、電界放射顕微鏡

タングステン(W)針の先端を単原子層の貴金属で覆った後、1000 Kで加熱すると表面再構成が起こり、ナノ電子源として利用可能な微小なWのピラミッド(ナノピラミッド)構造を作製できる。我々は、ナノピラミッドを定常的に再現よく作製しており、現在は寿命を延ばす方法を模索している。構造変化が進まなくなった際、電界を印可しながら1200 K加熱を組み合わせることで高い確度でナノピラミッド形成をFIMで確認できた報告する。