[20p-PB2-1~18] 7 Beam Technology and Nanofabrication (Poster)

[20p-PB2-8] Reconsideration on Fabrication Process for Improvement of Yield Ratios and Prolong the Life of Noble-Metal-Coated Nano Emitters by Use of Thermal-Field Treatment

〇Hirotaka Asai¹, Hidekazu Murata¹, Eiji Rokuta¹ (1.Meijo Univ)

Keywords:nano emitter, Field ion microscopy, Field emission microscopy

タングステン(W)針の先端を単原子層の貴金属で覆った後、1000 Kで加熱すると表面再構成が起こり、ナノ電子源として利用可能な微小なWのピラミッド(ナノピラミッド)構造を作製できる。我々は、ナノピラミッドを定常的に再現よく作製しており、現在は寿命を延ばす方法を模索している。構造変化が進まなくなった際、電界を印可しながら1200 K加熱を組み合わせることで高い確度でナノピラミッド形成をFIMで確認できた報告する。