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△ [21a-B32-8] 溶融転写成膜における同時パターニングと融液流動
キーワード:有機トランジスタ、有機半導体、パターニング
当研究室で開発された有機半導体の流動相を利用した溶融転写プロセスを用い、無溶媒でパターニング成膜することを試みた。溶融転写によって直接、任意の位置に任意の形でのパターニング成膜を目標とし、ポリイミドフィルム上にフォトレジストパターンを作製したものを転写凹版フィルムとして用いることで有機薄膜の作製を試みた。また、膜形状を解析することで、融液を流動させるメニスカス力を定量した。