[21a-C310-1~12] 6.4 薄膜新材料

[21a-C310-11] PLD を用いたZnMnGaO₄ ナノチェッカーボード薄膜の作製

〇臼木 美弥¹、堀出 朋哉¹、堀部 陽一¹、松本 要¹ (1.九工大)

キーワード：薄膜、ナノ構造、相分離

現在ボトムアップ的アプローチであるナノ自己組織化に注目が集まっている。その新しい手法としてJahn-Teller現象により導入される局所歪を利用した手法がZnMnGaO₄において報告されている。この手法では、数nm×数nm×数十～数百nm程度のナノCB組織を作製できる。薄膜でのナノCB構造の制御は、デバイス等への応用に向けた重要な課題であるため、本研究では、基板や成膜温度によってZnMnGaO₄薄膜内でナノCB構造を制御を行った。