[21a-E205-1~12] 3.8 光計測技術・機器

[21a-E205-7] 光コム化LEDによる表面性状計測技術の検討

〇松本 弘一²、高増 潔¹ (1.東大工、2.東京精密㈱)

キーワード：粗面計測、緑色LED、物質の屈折率

LED光源にファブリー・ぺローエタロン（FPE）適用し，LEDの光コム化を実現した．そして，LEDの広帯域性を利用すると共に，光源においても，FPEを用いた場合，光源のコヒーレンス長より大きな段差などがある物体に関してもの表面性状の測定を行えたので，これらの概要に関して発表行う．