[21a-E301-1~13] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

△ [21a-E301-4] コンタクトレス光電気化学エッチング及びウェットエッチングによる窒化ガリウムナノワイヤの作製

〇島内 道人^1,2、三輪 和希¹、渡久地 政周¹、佐藤 威友¹、本久 順一² (1.北大　量集センター、2.北大　情報科学研究院)

キーワード：窒化ガリウム、ナノワイヤ、光電気化学エッチング

窒化ガリウムナノワイヤは、サラウディングゲート縦型トランジスタや、発光ダイオードへの応用に向けて、その作製やデバイス応用の研究が盛んに行われている。本研究において我々のグループは、光電気化学エッチングとウェットエッチングを用いた窒化ガリウムナノワイヤの作製に成功したので報告する。これらのプロセスはイオンによるダメージがなく、ダメージレスなナノワイヤが作製可能であり、作製したナノワイヤの特性評価に関しても報告する予定である。