[21a-E310-1~10] 15.4 III-V族窒化物結晶

[21a-E310-8] M面成長SCAAT^TM基板のアニール効果

〇磯 憲司¹、三川 豊¹、池田 宏隆¹、堀田 一海¹、望月 多恵¹、泉沢 悟¹ (1.三菱ケミカル)

キーワード：SCAAT、アモノサーマル、アニール

アモノサーマル法から得られたGaN基板の特徴の１つに強いYL発光が挙げられる。アモノサーマル法では、得られたGaNバルク結晶やそこから加工されたGaN基板は内在した歪みを緩和する目的でアニール処理が行われる。M面成長したバルク結晶から切り出したGaN基板をアニールすることにより、GaN結晶の黄着色が消失し、さらにPLやFT-IRスぺクトル等の特性が劇的に変化した。