[21a-E311-1~7] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[21a-E311-2] TSSG法を応用した気相での多結晶SiCコーティング

〇横林 悠太¹、土本 直道¹、各務 祐気²、山本 周一²、鈴木 皓己¹、太子 敏則¹ (1.信州大工、2.アスザック)

キーワード：SiCコーティング