[21a-PA2-1~31] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-PA2-14] ZnOナノロッド/glass上へVO₂薄膜成長及び光学特性(Ⅲ)

〇福住 達郎¹、沖村 邦雄²、山口 巌³、土屋 哲男³ (1.東海大院工、2.東海大工、3.産総研)

キーワード：酸化亜鉛、ナノロッド、二酸化バナジウム

二酸化バナジウム(VO₂)は, 68°C付近で急激な抵抗値の変化を示す.この特性から赤外光領域の透過率も変化するため, 自動的に赤外光透過率を調整する自動調光窓への応用が期待されている. 前回,酸化亜鉛ナノロッド(ZnO_NR)上のVO₂はZnO薄膜上より良好な結晶性を有することを報告した.今回の発表では,自動調光窓の性能評価として用いられる視感透過率T_lum及び日射透過率T_solの計算を行い, ZnO_NR上VO₂及びZnO薄膜上VO₂の性能比較を行った.