[21a-PA2-1~31] 6.3 Oxide electronics

[21a-PA2-21] Examination of Zn Addition to AZO Thin Films by Magnetron Sputtering Method

〇Hidehiko Shimizu¹, Haruo Iwano¹, Takahiro Kawakami¹, Yasuo Fukushima¹, Koutaro Nagata¹ (1.Niigata Univ.)

Keywords:AZO, Thin Film, Sputtering Method

ZnOにAl₂O₃を2wt.%添加したAZO焼結体の中心に，Zn円板を貼り付けた複合ターゲットを使用し，マグネトロンスパッタ法により薄膜を堆積し，AZO薄膜へのZn添加について検討を行った。