[21a-PA2-1~31] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[21a-PA2-24] 低ダメージマグネトロンスパッタ法で成膜したn形酸化物半導体薄膜を用いるCu₂O系ヘテロ接合太陽電池の作製

〇徳永 浩己¹、宮田 俊弘¹、南 内嗣¹ (1.金沢工大)

キーワード：太陽電池、マグネトロンスパッタ法、半導体