[21a-PB1-1~86] 17 ナノカーボン（ポスター）

[21a-PB1-10] 光を用いるカーボンナノチューブの湿式製膜と微細加工

〇神徳 啓邦¹、松澤 洋子¹、吉田 勝¹ (1.産総研)

キーワード：カーボンナノチューブ、光異性化、アゾベンゼン

我々は、単層カーボンナノチューブ（SWCNT）の電子デバイス用途への応用を目指した、新規湿式製膜法を開発した。本報告では、分散剤の光反応を利用することで、高純度なSWCNT膜を作製する湿式製膜技術の詳細と、それを用いたSWCNT配線の微細化への取組について報告する。