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[21a-PB1-32] アモルファスカーボン薄膜を固体材料として用いたグラフェン/グラファイトの成長
- Fe 基板を用いた成長 -
キーワード：グラフェン、固体材料、アモルファスカーボン
CVD法をベースとしてアモルファスカーボンを固体原料としたグラフェン成長を目指して炭素固溶度の高いFe箔を用いて成長実験を行った。また、この実験でグラファイトの成長が確認できたがごく少量であったため、表面の厚い酸化物が原因と考えた。そこで、蒸着薄膜を用いれば酸化膜も薄いと考え、Si基板上に形成したFe薄膜を用いて成長実験を行った。