[21a-PB1-1~86] 17 Nanocarbon Technology (Poster)

[21a-PB1-56] Rotationally-oriented MoS₂ grown by thermal vapor sulfurization of Mo film

〇Kenjiro Hayashi^1,2, Masako Kataoka¹, Hideyuki Jippo^1,2, Mari Ohfuchi^1,2, Shintaro Sato^1,2 (1.Fujitsu Lab., 2.Fujitsu)

Keywords:molybdenum disulfide, MoS2, sensor

Mo膜の熱硫化法（Thermal Vapor Sulfurization）によって、基板上にMoS₂膜を合成した。得られたMoS₂膜をチャネルとして用いた電界効果型トランジスタ（FET）を作製し、電気特性を評価した。また、これをFET型センサーとしてNO₂に対する応答評価を行った。